品牌PI | 有效期至長期有效 | 最后更新2020-05-06 18:01 |
X,Y的行程范圍100 μm×100 μm | Z的行程范圍10 μm | 電容式傳感器的分辨率0.1 nm |
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PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明,沒有單一故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導軌,導向精度高
撓性導板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且對沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可以在寬溫度范圍內工作。
平行位置測量,在納米范圍內具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為參考。可以實時地(取決于帶寬)主動補償與另一軸發(fā)生的不必要的運動串擾(主動引導)。即使在動態(tài)操作中,也可以在納米范圍內實現(xiàn)高跟蹤精度。
型號展示:
壓電撓曲XYZ定位器和掃描儀
P-733.3 XYZ壓電納米定位器
高精度XYZ光圈掃描儀
P-616NanoCube®納米定位器
緊湊的并聯(lián)運動壓電系統(tǒng),用于納米定位和光纖對準
P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)
緊湊的多軸壓電系統(tǒng),用于納米定位和光纖對準
P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺
高精度納米定位器,最多可容納3個軸
P-517•P-527多軸壓電掃描儀
高動態(tài)納米定位儀/掃描儀,具有直接位置測量功能
用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀
P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng)
用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)
P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng)
電容位置測量,用于超高分辨率顯微鏡
P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)
快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡
緊湊型精密XYZ納米掃描儀
P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀
高動態(tài)納米定位系統(tǒng),用于掃描探針顯微鏡
P-313 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀
皮克計精度高帶寬,用于掃描探針顯微鏡
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀工作日
9:00-18:00