品牌PI | 有效期至長期有效 | 最后更新2020-05-06 17:58 |
尺寸44毫米×44毫米 | 行程范圍120 μm×120 μm | 分辨率0.2 nm |
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· 緊湊:表面44毫米×44毫米
· 行程范圍為120 µm×120 µm
· 分辨率至0.2 nm
· 特別便宜的系統(tǒng)(機械和控制器)
· 零間隙,高精度撓曲導(dǎo)向系統(tǒng)
· PICMA®壓電執(zhí)行器,使用壽命長
· 也提供線性和Z載物臺,以及XYZ版本
應(yīng)用領(lǐng)域:
· 干涉儀
· 顯微鏡檢查
· 納米定位
· 生物技術(shù)
· 測試程序和質(zhì)量保證
· 光子學(xué)
· 光纖定位
· 半導(dǎo)體技術(shù)
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且對沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。
PICMA®壓電執(zhí)行器,使用壽命長
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明,沒有單一故障的1000億次循環(huán)。
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