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PI (Physik Instrumente)線性促動(dòng)器

    

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品牌PI 有效期至長期有效 最后更新2022-02-11 14:24
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PI (Physik Instrumente)線性促動(dòng)器

楊文輝
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 PI (Physik Instrumente)線性促動(dòng)器


PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器,用于線性,旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合。 因此,PI可以將這些解決方案應(yīng)用于客戶特定應(yīng)用,或者提供用于運(yùn)動(dòng)和定位的成品子系統(tǒng)。

 

PI是技術(shù)先進(jìn)的以運(yùn)動(dòng)為中心的解決方案的供應(yīng)商,因此使用專有的驅(qū)動(dòng)組件和高精度定位器。 所有級別的集成都可以達(dá)到使用不同驅(qū)動(dòng)技術(shù)(包括運(yùn)動(dòng)控制)的多軸組合。

 

多年來,運(yùn)動(dòng)子系統(tǒng)的工程設(shè)計(jì)一直是PI核心業(yè)務(wù)的一部分。 定制解決方案,無縫融入現(xiàn)有流程,推動(dòng)芯片生產(chǎn)或光子封裝制造和檢測流程的自動(dòng)化以及主要研究設(shè)施。

 

 

精密部件是高質(zhì)量多軸設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)
成功的關(guān)鍵是PI Group的全部知識和經(jīng)驗(yàn)。 通過一家供應(yīng)商提供的廣泛標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品組合,可輕松實(shí)現(xiàn)定制解決方案。 PI提供系統(tǒng)的所有組件并配置多軸結(jié)構(gòu)。

長行程納米定位,具有高力,PiezoWalk原理

應(yīng)用領(lǐng)域

?工業(yè)級精度定位

?半導(dǎo)體技術(shù)

?半導(dǎo)體測試

?晶圓檢測

?平版印刷術(shù)

?納米壓印

?納米測量

?強(qiáng)磁場和真空中運(yùn)動(dòng)

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力

數(shù)個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在

PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng),將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分

辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動(dòng)。

增量

編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)

編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對測量造成影響。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用PI的壓電電機(jī)原則上是真空兼容的,并且適合在強(qiáng)磁場中運(yùn)行。驅(qū)動(dòng)器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器還可用于有較強(qiáng)紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

規(guī)格

N-216.101 / N

-216.1A1N

-216.201 / N

-216.2A1

公差N-216NEXLINE

線性促動(dòng)器

?力量生成達(dá)600

?保持力達(dá)800

?行程20毫米

?帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器5納米

 

訂購信息

N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器,20毫米,300牛,開環(huán)

N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器,20毫米,300牛,線性編碼器,5納米分辨率

N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器,20毫米,600牛,開環(huán)

N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器,20毫米,600牛,線性編碼器,5納米分辨率


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