BUSCH 螺桿真空泵COBRA DS 0080/0160 G

先進(jìn)的螺絲設(shè)計(jì)

高效：

經(jīng)濟(jì)高效，維護(hù)最少，正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)

靈活：

面向應(yīng)用

流程時(shí)間短：

由于抽速高

堅(jiān)固：

內(nèi)部組件上有防腐蝕涂層

設(shè)計(jì)緊湊

 

COBRA DS 0080/0160 G是成熟的COBRA DS系列中的干螺桿真空泵。即使在要求高氫氣通過(guò)量的條件下，它們的高抽速也使COBRA DS螺桿真空泵成為光伏電池，平板顯示器和半導(dǎo)體生產(chǎn)中所有苛刻過(guò)程的理想選擇。最先進(jìn)的COBRA DS螺桿真空泵技術(shù)可將粉狀和顆粒狀介質(zhì)排空。

 

COBRA DS干式螺桿真空泵具有干式壓縮，專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)的螺桿輪廓和無(wú)阻礙的氣體排放。結(jié)果是高度的蒸汽和顆粒耐受性。螺釘由一體式鑄件制成??，避免了任何間隙，從而使過(guò)程流體或顆粒無(wú)法進(jìn)入，從而防止了腐蝕。

 

配備高效電機(jī)，COBRA DS 0080/0160 G具有出色的能源效率。由于維護(hù)需求低，運(yùn)營(yíng)成本低，正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)且生命周期長(zhǎng)，因此總擁有成本非常低，因此在此性能級(jí)別中樹(shù)立了標(biāo)準(zhǔn)。

 

由于采用了就地安裝設(shè)計(jì)，因此可以快速，輕松地將這些螺桿真空泵改裝為現(xiàn)有系統(tǒng)。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

 

高密度等離子CVD（HDP-CVD）

快速熱處理（RTP）

低于大氣壓CVD（SACVD）

金屬有機(jī)CVD（MOCVD）

等離子增強(qiáng)CVD（PECVD）

低壓CVD（LPCVD）

原子層沉積（ALD）
 

技術(shù)說(shuō)明
 

技術(shù)規(guī)格COBRA DS氣缸

內(nèi)的兩個(gè)螺桿轉(zhuǎn)子沿相反方向旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被截留在氣缸和螺旋腔之間，被壓縮并輸送到出氣口。在壓縮過(guò)程中，螺桿轉(zhuǎn)子不會(huì)相互接觸

 

其他或圓柱體。因此，在壓縮室中不需要潤(rùn)滑劑或工作流體。COBRA DS系列真空泵使用高效的間接水冷技術(shù)，可在整個(gè)泵體內(nèi)實(shí)現(xiàn)可控的溫度分布，并能夠響應(yīng)工藝變化。先進(jìn)的螺桿設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)極高的抽氫速度。
 

尺寸
 

COBRA DS 0080/0160 G
 

抽速
 

空氣在20°C。公差：±10％ 50赫茲 60赫茲