品牌PIglide | 有效期至長期有效 | 最后更新2021-05-27 13:29 |
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帶空氣軸承的PIglide RL薄型旋轉(zhuǎn)平臺
無摩擦,電動
A-63x
?200毫米或300毫米運動平臺直徑
?薄型,60毫米
?偏心和平整度<100 nm
?靜止時可以通過磁性預載自鎖
產(chǎn)品總覽
PIglide RL系列的直接驅(qū)動式薄型旋轉(zhuǎn)平臺采用薄型設計,可實現(xiàn)最高的精度。
可以組合各種選項來創(chuàng)建理想的解決方案,以實現(xiàn)點對點索引或恒速掃描。
RL位移臺提供卓越的行程精度,平坦度和擺動性能。
三相扭矩電動機
?無刷
?無插槽
?低齒槽轉(zhuǎn)矩
絕對編碼器(可選)
絕對值編碼器提供明確的位置信息,可立即確定位置。 這意味著在接通過程中不需要引用,從而提高了操作期間的效率和安全性。
配件和選件
?增量或絕對編碼器
?真空穿通
?在靜止狀態(tài)下通過電磁預載自鎖
?PIglide過濾器和空氣制備套件
?單軸或多軸運動控制器和伺服驅(qū)動器
?多軸/定制設計
?由花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
應用領域
光學對準,晶片檢查,晶片對準,測量技術,檢查系統(tǒng),校準,掃描。
由于無摩擦運動,不會形成任何顆粒,這使PIglide工作臺非常適合無塵室應用。
訂購信息:
A-635.A100
PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺,空氣軸承,200 mm運動平臺直徑,低高度,帶正弦/余弦信號傳輸?shù)慕嵌葴y量系統(tǒng),31488線/轉(zhuǎn),無槽,無刷三相扭矩電動機
A-635.B100
PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺,空氣軸承,200 mm運動平臺直徑,低高度,帶BiSS-C信號傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng),傳感器分辨率為0.0015μrad,無槽,無刷三相扭矩電動機
A-637.A100
PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺,空氣軸承,運動平臺直徑300 mm,低高度,帶正弦/余弦信號傳輸?shù)慕嵌葴y量系統(tǒng),47200線/轉(zhuǎn),無槽,無刷三相扭矩電動機
A-637.B100
PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺,空氣軸承,運動平臺直徑300 mm,低高度,帶BiSS-C信號傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng),傳感器分辨率為0.0015μrad,無槽,無刷三相扭矩電動機
工作日
9:00-18:00