德國 Physik Instrumente P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

在過去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的領(lǐng)先制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動機始終保持不變：為客戶找到最佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名，多年來一直是全球精密定位技術(shù)市場的領(lǐng)導(dǎo)者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內(nèi)部的團隊精神，其基礎(chǔ)是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。

PI是一家擁有健康增長的私營公司，在全球擁有1000多名員工，并且是一個靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺能夠滿足創(chuàng)新型精密定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。

PI的首要任務(wù)是成為客戶的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。PI是運動和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。

 

 

 

PI的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導(dǎo)向精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動態(tài)掃描，在高達6的自由度下可達到幾百赫茲。

專有傳感器設(shè)計，無摩擦撓性導(dǎo)軌和長壽命PICMA®壓電執(zhí)行器的獨特結(jié)合，使機器具有出色且堅固的機械性能。壓電運動控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過數(shù)字或模擬接口進行集成，并進行舒適的編程。

 

 

應(yīng)用領(lǐng)域：

光纖定位和對準(zhǔn)

掃描顯微鏡

2-光子聚合

納米技術(shù)與納米制造

光子學(xué)/集成光學(xué)

顯微操作

樣品定位

 

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的脫氣率。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

通過并聯(lián)運動學(xué)實現(xiàn)高動態(tài)多軸運行

在并聯(lián)運動多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都作用在一個公共平臺上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計允許快速，動態(tài)且仍然精確的運動。

 

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描探針顯微鏡

原子力顯微鏡

掃描和篩選

 

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為基準(zhǔn)進行測量。軸之間不需要的串?dāng)_可以實時（根據(jù)帶寬）得到主動補償（主動引導(dǎo)）。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。

 

 

V-308物鏡音圈PIFOC聚焦驅(qū)動器

用于顯微鏡物鏡的高動態(tài)定位器

 

使用PIFOC對目標(biāo)進行Z定位

在許多檢查或顯微鏡技術(shù)中，都需要將樣品沿Z方向（即沿物鏡的光軸）定位?？商娲?，可以在Z方向上移動物鏡本身。為此，PI提供了名為PIFOC的解決方案。

PIMag®音圈電機

音圈馬達是直接驅(qū)動器。在直接驅(qū)動中，驅(qū)動元件的力直接傳遞到要移動的負載上，而無需使用機械傳??遞元件，例如聯(lián)軸器，驅(qū)動螺桿或齒輪箱。音圈驅(qū)動器由位于磁場氣隙中的永磁體和繞組體組成。當(dāng)電流流經(jīng)繞組時，它會在永磁體的磁場中移動。音圈驅(qū)動器由于其重量輕且無摩擦的驅(qū)動原理，特別適合要求在有限行程范圍內(nèi)實現(xiàn)高動力和高速度的應(yīng)用。這些驅(qū)動器還可以實現(xiàn)高掃描頻率和精確定位，因為它們不受磁滯的影響。

直接位置測量

直接在運動平臺上以最高的精度執(zhí)行位置測量，因此非線性，機械游隙或彈性變形對位置測量沒有影響。

集成重力補償

該產(chǎn)品配備了磁力稱重補償。即使沒有通電，也可以保持垂直于運動軸的最大1 kg負載的位置。重力補償可由用戶調(diào)整。

交叉滾子導(dǎo)軌

對于交叉的滾柱導(dǎo)軌，滾珠導(dǎo)軌中滾珠的點接觸被硬化滾柱的線接觸所代替。因此，它們更堅固，需要的預(yù)緊力更小，從而減少了摩擦并實現(xiàn)了順暢的運行。交叉滾子導(dǎo)向裝置還具有較高的導(dǎo)向精度和承載能力。力引導(dǎo)的滾動體保持架可防止保持架蠕變。

應(yīng)用領(lǐng)域

顯微鏡：多光子熒光顯微鏡，深層組織檢查，數(shù)字玻片掃描顯微鏡。生物技術(shù)：采用Solexa-Illumina方法進行基因組測序，免疫分析熒光。

醫(yī)療設(shè)備：掃描激光眼科，自動細胞計數(shù)器/流式細胞儀。生物醫(yī)學(xué)研究：光學(xué)和磁性鑷子。激光材料加工：激光微加工，激光燒蝕。半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體/晶圓檢查。

 

 

應(yīng)用領(lǐng)域

顯微鏡檢查

共聚焦顯微鏡

3D成像

篩選

自動對焦系統(tǒng)

表面分析

晶圓檢查

多光子顯微鏡

直接位置測量帶來最高的精度

直接在運動平臺上測量運動，而不受驅(qū)動或?qū)蛟娜魏斡绊?。這樣可以實現(xiàn)最佳的可重復(fù)性，出色的穩(wěn)定性以及快速響應(yīng)的剛性控制。

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

豐富的軟件可快速啟動生產(chǎn)運營

得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見操作系統(tǒng)（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個環(huán)境中快速有效地實現(xiàn)。復(fù)雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運營的時間。

 

 

應(yīng)用領(lǐng)域

雙光子顯微鏡

共聚焦顯微鏡

3D成像

激光技術(shù)

干涉儀

生物技術(shù)

顯微操作

自動對焦，適合長途旅行

使用增量線性編碼器進行高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械間隙或彈性變形對測量沒有影響。

PiezoWalk®行走驅(qū)動器可實現(xiàn)納米級精度和高進給力

多個壓電執(zhí)行器在PiezoWalk®行走驅(qū)動器中執(zhí)行行走運動，從而導(dǎo)致跑步者向前進給。致動器的控制允許最小的步進和正向進給運動，其分辨率遠低于1納米。

豐富的軟件可快速啟動生產(chǎn)運營

得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見操作系統(tǒng)（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個環(huán)境中快速有效地實現(xiàn)。復(fù)雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運營的時間。

 

PI提供了廣泛的電動線性平臺產(chǎn)品組合。種類繁多的應(yīng)用還意味著線性軸的技術(shù)可能性也非常廣泛。行程范圍從幾毫米到幾米，精度等級從納米到微米：PI使驅(qū)動器，導(dǎo)向器或傳感器技術(shù)適應(yīng)應(yīng)用條件。

有許多不同型號的真空版本。多軸組合可借助轉(zhuǎn)接器支架實現(xiàn)，或者通過匹配的Z平臺和旋轉(zhuǎn)平臺更加緊湊。

運動控制器可作為臺式設(shè)備，機架版本或緊湊型OEM設(shè)備使用。所有這些因素的共同因素是通過通用命令集（GCS）進行命令，該命令簡化了控制和編程，并且與驅(qū)動器類型無關(guān)。

可提供具有ACS運動控制器的多軸工業(yè)應(yīng)用中的多軸系統(tǒng)。這樣可確保通過Fieldbus接口輕松集成，以實現(xiàn)精密和以運動為中心的工業(yè)應(yīng)用。

 

PILine®位移臺特別適合需要快速精確定位的應(yīng)用。關(guān)閉時，自鎖驅(qū)動器會以機械方式穩(wěn)定工作臺的位置。因此，能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著減少。這些特性使電池供電或?qū)崦舾械牡驼伎毡葢?yīng)用受益。軸的位置由編碼器測量，光學(xué)參考開關(guān)可實現(xiàn)可靠的可重復(fù)運動。壓電驅(qū)動原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。

使用增量線性編碼器進行高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械間隙或彈性變形對測量沒有影響。

PILine®超聲波壓電馬達

PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動器，該壓電致動器通過一個耦合元件預(yù)加載在可移動的導(dǎo)向流道上。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩。致動器的變形導(dǎo)致聯(lián)接元件相對于轉(zhuǎn)輪周期性的對角運動。每個周期產(chǎn)生的進料為幾納米。高頻導(dǎo)致高速。將壓電陶瓷執(zhí)行器預(yù)緊抵在轉(zhuǎn)輪上，可確保驅(qū)動器在靜止和關(guān)閉時自動鎖定。

應(yīng)用領(lǐng)域

顯微操作，自動化，生物技術(shù)，樣品處理，樣品定位，空間有限的應(yīng)用，10 -6 hPa的真空應(yīng)用（可選）。

 

帶有NEXACT®PiezoWalk®驅(qū)動器的線性平臺可在長行程范圍內(nèi)在納米范圍內(nèi)進行高精度定位。它們配備有直接測量的線性編碼器和交叉滾子軸承，可實現(xiàn)最高的精度。

使用PIOne線性編碼器進行直接位置測量

PI開發(fā)了高分辨率的PIOne編碼器，并通過對測量值進行相應(yīng)的處理，使位置分辨率大大小于1納米。另外，由于信號周期短和信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1％。PIOne編碼器在評估參考信號時支持方向感測。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率和低磨損

PiezoWalk®技術(shù)結(jié)合了壓電執(zhí)行器和壓電馬達的技術(shù)優(yōu)勢。PiezoWalk®行走驅(qū)動器不僅提供亞納米級分辨率，高作用力和高剛度，而且理論上允許無限的行駛范圍。與其他壓電驅(qū)動原理相反，PiezoWalk®行走驅(qū)動器不受滑動摩擦的影響。它們基于沿著滑道步進的多個壓電執(zhí)行器的靜摩擦接觸。靜止時，PiezoWalk®行走驅(qū)動器是自鎖的，不消耗能量，并且不發(fā)熱。

應(yīng)用領(lǐng)域

樣品處理，樣品定位，具有高精度和穩(wěn)定性的光學(xué)或機械組件，半導(dǎo)體行業(yè)的精密機械，顯微操作，顯微鏡，自動化，在狹窄空間中的應(yīng)用，在非磁性環(huán)境中的應(yīng)用。

 

強大的線性平臺，用于要求苛刻的工業(yè)應(yīng)用

精密滾珠絲杠，高性能步進或同步伺服電機，重型循環(huán)滾珠軸承以及精密旋轉(zhuǎn)編碼器可在高負載下連續(xù)可靠地運行。可選的抱閘允許用作Z軸。滾珠絲杠可以在不拆卸的情況下從外部進行補充潤滑，以確保高可靠性和長壽命。

開拓設(shè)計

L-812系列的循環(huán)球軸承導(dǎo)軌設(shè)計用于高負載能力和動態(tài)性能。電機的高分辨率可改善跟蹤性能，減小跟蹤誤差并縮短建立時間。

選項

步進或同步伺服電機

抱閘

旋轉(zhuǎn)編碼器，增量式或絕對式

折疊式傳動系統(tǒng)可減少總長度

同步伺服電機

這些電動機在較大的轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)具有較高的定位精度和較高的過載能力。高扭矩和低慣量確保了驅(qū)動器的高動態(tài)。這些電機的使用壽命長，性能高且堅固耐用，可在工業(yè)自動化應(yīng)用中獲得出色的效果。

步進電機

強大且低振動的2相步進電機即使在沒有位置控制的情況下也可以實現(xiàn)精確定位。

應(yīng)用領(lǐng)域

電子產(chǎn)品生產(chǎn)：微裝配。傳感器/攝像頭的位置。

激光材料加工：激光微加工。

工業(yè)噴墨印刷。矩陣板和印刷電路板的生產(chǎn)。

測試與檢查。

醫(yī)療設(shè)備制造：氣密焊接?；?qū)嶒炇业臋C器人系統(tǒng)。

 

空氣軸承臺用于需要無振動運動，速度需要高度恒定且要求最佳角度重復(fù)性的場合。

空氣軸承避免了摩擦，磨損和反沖效應(yīng)。PIglide線性，旋轉(zhuǎn)和球面軸承是精密組件，可以集成和電動化用于OEM，工業(yè)和研究市場。

 

產(chǎn)品總覽

高性能緊湊型音圈線性平臺，帶有空氣軸承導(dǎo)軌。免維護，無限壽命，非常適合具有高占空比和嚴格體積限制的高動態(tài)應(yīng)用。

集成的平衡選項可實現(xiàn)垂直方向的操作。

配件和選件

PIglide過濾器和空氣制備套件

垂直安裝的氣動平衡

應(yīng)用領(lǐng)域

線性位移臺非常適合高精度應(yīng)用，例如計量學(xué)，光子學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)，光學(xué)器件定位和掃描。非接觸式設(shè)計是潔凈室應(yīng)用的理想選擇。電纜未移動。

 

產(chǎn)品總覽

PIglide定位系統(tǒng)具有磁性直線電機，磁性預(yù)加載的空氣軸承和光學(xué)線性編碼器：非接觸和無摩擦運動，可提供最高的準(zhǔn)確性和可靠性

應(yīng)用領(lǐng)域

PIglide定位系統(tǒng)非常適合許多高精度應(yīng)用，例如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計量，光子學(xué)和精密掃描。

由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。

配件和選件

編碼器

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸和多軸運動控制器

XY設(shè)置和個別配置

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)

 

產(chǎn)品總覽

帶有空氣軸承的PIglide MB線性位移臺配有伺服線性電機驅(qū)動器，該驅(qū)動器帶有預(yù)裝的空氣軸承和集成的光學(xué)線性編碼器。此階段可提供微型格式的超高精度。非接觸組件的組合形成了一個無摩擦運動平臺，該平臺可提供最高的性能，質(zhì)量和使用壽命。

應(yīng)用領(lǐng)域

該載物臺非常適合許多高精度應(yīng)用，例如計量，光子對準(zhǔn)，光學(xué)定位和掃描。非接觸式設(shè)計也是潔凈室應(yīng)用的理想選擇。電纜未移動?？諝廨S承模塊提供鎖定設(shè)計，以實現(xiàn)最高的位置穩(wěn)定性。

配件和選件

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸和多軸運動控制器

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)

 

對旋轉(zhuǎn)運動的要求顯示出范圍很廣的各種尺寸，負載能力和定位精度。PI提供具有各種電動和導(dǎo)向選項的平臺：空氣軸承，扭矩馬達驅(qū)動，蝸輪蝸桿耦合電動，小型壓電馬達平臺以及帶有正交傾斜安裝選項的專用測角儀平臺。它們都可以通過相應(yīng)的線性，垂直和XY平臺安裝到多軸組合上。 

 

產(chǎn)品總覽

PIglide RLA系列的直接驅(qū)動平面旋轉(zhuǎn)平臺設(shè)計為具有最高的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺具有出色的行程精度，平坦度和擺動性能。

絕對值編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

斷層掃描，束線系統(tǒng)，晶圓計量，晶圓檢查，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。

由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。

三相轉(zhuǎn)矩電機

無刷

低齒槽轉(zhuǎn)矩

配件和選件

增量或絕對編碼器

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸或多軸運動控制器和伺服驅(qū)動器

多軸/自定義設(shè)置

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)

 

產(chǎn)品總覽

PIglide RL系列的直接驅(qū)動式薄型旋轉(zhuǎn)位移臺采用薄型設(shè)計，可實現(xiàn)最高的精度?？梢越M合使用各種選項，以創(chuàng)建理想的解決方案，以實現(xiàn)點對點索引或恒速掃描。RL位移臺提供卓越的行程精度，平坦度和擺動性能。

絕對值編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)對準(zhǔn)，晶圓檢查，晶圓對準(zhǔn)，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。

由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。

三相轉(zhuǎn)矩電機

無刷

無槽

低齒槽轉(zhuǎn)矩

配件和選件

增量或絕對編碼器

真空饋通

在靜止?fàn)顟B(tài)下通過電磁預(yù)載自鎖

根據(jù)要求清除光圈

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸或多軸運動控制器和伺服驅(qū)動器

多軸/自定義設(shè)置

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)