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德國PI 精密移臺 N-765 Z向位 參數(shù)

    

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品牌PI 有效期至長期有效 最后更新2021-06-15 10:35
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德國PI 精密移臺 N-765 Z向位 參數(shù)


德國PI 精密移臺 N-765 Z向位 參數(shù)

PI (Physik Instrumente) 集團

PI在精密定位領(lǐng)域的卓越技術(shù),新的驅(qū)動概念、產(chǎn)品和系統(tǒng)解決方案在過去幾年中為PI集團帶來了持續(xù)不斷的市場份額增長和健康的公司發(fā)展。高度垂直化的制造使

王立華
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PI能完全控制其工藝流程,從而對市場發(fā)展和新興需求做出靈活反應。分形生產(chǎn)模型等現(xiàn)代化組織形式可確保各種批量尺寸的高效生產(chǎn),例如僅生產(chǎn)一件產(chǎn)品、小型系列產(chǎn)品或大量的OEM產(chǎn)品。

PI (Physik Instrumente)簡介

PI集團全球共有六個生產(chǎn)點,四家位于德國,兩家位于海外,全球超過1000位員工,關(guān)鍵市場中有15家子公司,超過284項專利和專利申請,40多年的壓電陶瓷技術(shù)經(jīng)驗。

 

PI (Physik Instrumente)  N-765 精密Z向位移臺

--------具有亞納米級編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進驅(qū)動器

 

 

1.      采用PIOne增量編碼器實現(xiàn)直接測量,分辨率為0.5納米

2.      最小位移達1納米

3.      行程為6.5毫米

4.      負載能力達25

5.      可以直接安裝在N-565線性定位器上

 

NEXACT®參考級線性定位器

NEXACT® PiezoWalk®驅(qū)動器的線性定位器可實現(xiàn)較長行程范圍內(nèi)的納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承,可實現(xiàn)最高精度。緊湊、扁平的設計使定位器能輕松實現(xiàn)機械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術(shù):高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動器與壓電電機的技術(shù)優(yōu)勢結(jié)合在一起。PiezoWalk®步進驅(qū)動器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性,而且根據(jù)其驅(qū)動原理,其還能實現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機動化驅(qū)動器原理,PiezoWalk®步進驅(qū)動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸,這幾個促動器沿一個動輪步進。前饋時,促動器被從動輪處物理提升,幾乎不會造成任何磨損。在促動器上相對于動輪施加預載可確保步進驅(qū)動器自鎖。因此,步進驅(qū)動器靜止狀態(tài)下將保持位置,關(guān)機時可實現(xiàn)機械穩(wěn)定(無伺服抖動)。靜止狀態(tài)自鎖,無能量消耗,無熱量產(chǎn)生。

PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā),在對測量數(shù)據(jù)進行相應處理后,可實現(xiàn)遠低于1納米的位置分辨率。光學非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以極高的精度直接在運動平臺上進行實際位置測量,因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米,信號質(zhì)量高,PIOne編碼器的線性誤差小于1%PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承,滾珠軸承中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此,它們的剛度明顯提高,需要的預載更小,這減少了摩擦并實現(xiàn)了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導向精度和負載能力。滾動主體架的受迫導向防止?jié)L柱軸承發(fā)生蠕變。

 

應用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學或機械部件、半導體行業(yè)中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動化、有限空間內(nèi)的應用、真空或無磁性環(huán)境中的應用。

德國PI 精密移臺 N-765 Z向位 參數(shù) 

 PI (Physik Instrumente)  N-765 精密Z向位移臺


規(guī)格參數(shù)

主動軸:Z

行程:6.5毫米

系統(tǒng)分辨率: 0.5納米

集成傳感器: PIOne線性編碼器:增量,光學,直 接測量

傳感器分辨率: 0.5納米

最小位移:1納米

速度,閉環(huán):2.5毫米/

單向重復精度:6納米

雙向重復性:7納米

Z向運動時X向上的線性串擾:1.8微米

Z向運動時Y向上的線性串擾:2微米

Z向運動時θX向上的轉(zhuǎn)動串擾:25微弧度

Z向運動時θY向上的轉(zhuǎn)動串擾:41微弧度

Z向運動時θZ向上的轉(zhuǎn)動串擾:34微弧度

最大負載容量:25

電機類型: NEXACT壓電陶瓷步進驅(qū)動器

驅(qū)動力:20

保持力(被動):25

工作電壓:-1045

工作溫度范圍: 1050 °C

質(zhì)量: 920

材料: 鋁,陽極氧化致黑

電纜長度:3

連接器: HD Sub-D 15針(公頭)

傳感器連接器: Sub-D 15(母頭)

推薦電控: E-861.1A1

 

訂購信息

N-765·060 精密Z向位移臺,行程為6.5毫米,PIOne線性編碼器,分辨率為0.5納米,

/拉力為25牛,尺寸為65 X 110x56毫米(寬 ×  × 高),NEXACT壓電步進驅(qū)動器.

德國PI 精密移臺 N-765 Z向位 參數(shù)

 

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