品牌簡介
在過去的四十年中,PI(Physik Instrumente)已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的領(lǐng)先制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動機始終保持不變:為客戶找到最佳解決方案。PI(Physik Instrumente)位移平臺以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名,多年來一直是全球精密定位技術(shù)市場的領(lǐng)導(dǎo)者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內(nèi)部的團隊精神,其基礎(chǔ)是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。
PI是一家擁有健康增長的私營公司,在全球擁有1000多名員工,并且是一個靈活的垂直整合的組織,這使PI(Physik Instrumente)位移平臺能夠滿足創(chuàng)新型精密定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。
PI的首要任務(wù)是成為客戶的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。PI是運動和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。
應(yīng)用領(lǐng)域
六腳架支持工業(yè)機器人科學(xué)儀器
半導(dǎo)體技術(shù)
顯微鏡檢查
硅光子學(xué)
醫(yī)療技術(shù)
材料研究
機械工業(yè)
自動化
梁線儀器
添加劑制造
主動對準(zhǔn)
部分產(chǎn)品分類及介紹
納米定位壓電撓性位移臺
PI的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導(dǎo)向精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計量學(xué),超分辨率顯微鏡,干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動態(tài)掃描,在高達(dá)6的自由度下可達(dá)到幾百赫茲。
專有傳感器設(shè)計,無摩擦撓性導(dǎo)軌和長壽命PICMA®壓電執(zhí)行器的獨特結(jié)合,使機器具有出色且堅固的機械性能。壓電運動控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化,并且可以輕松地通過數(shù)字或模擬接口進行集成,并進行舒適的編程。
1.多軸壓電撓性位移臺
PI的多軸壓電撓性位移臺可在多達(dá)6個軸上以亞納米級的精度進行定位和掃描,包括尖端,傾斜和偏航運動。版本范圍從最緊湊的立方體設(shè)計到大孔徑和薄型。
XYZ掃描儀是定位技術(shù)的全方位工具。應(yīng)用包括樣品調(diào)整,技術(shù),光學(xué)計量,光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。
所有壓電納米定位系統(tǒng)均已出廠校準(zhǔn),并隨測量記錄一起提供。
P-616NanoCube®納米定位器
緊湊的并聯(lián)運動壓電系統(tǒng),用于納米定位和光纖對準(zhǔn)
應(yīng)用領(lǐng)域:
光纖定位和對準(zhǔn)
掃描顯微鏡
2-光子聚合
納米技術(shù)與納米制造
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操作
樣品定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性,長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合,并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時,數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的脫氣率。
PICMA®壓電執(zhí)行器,使用壽命長
專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力,并且對沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
通過并聯(lián)運動學(xué)實現(xiàn)高動態(tài)多軸運行
在并聯(lián)運動多軸系統(tǒng)中,所有執(zhí)行器都作用在一個公共平臺上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計允許快速,動態(tài)且仍然精確的運動。
P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀
用于掃描探針顯微鏡的動態(tài)納米定位儀
應(yīng)用領(lǐng)域:
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描和篩選
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力,并且對沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測量,在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為基準(zhǔn)進行測量。軸之間不需要的串?dāng)_可以實時(根據(jù)帶寬)得到主動補償(主動引導(dǎo))。即使在動態(tài)操作中,也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性,長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合,并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時,數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
2.用于顯微鏡的PIFOC®物鏡和PInano®樣品掃描儀
PIFOC®和PInano®系列的壓電撓性位移臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務(wù)方面具有很高的動態(tài)性。標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供了適用于XY樣品平行于和垂直于光軸定位以及物鏡Z聚焦的解決方案。
平臺也可以在系統(tǒng)中方便地與控制器,所有必需的連接電纜和軟件一起使用。像所有壓電系統(tǒng)一樣,顯微鏡載物臺和掃描儀也已通過測量記錄進行了預(yù)校準(zhǔn)。
V-308物鏡音圈PIFOC聚焦驅(qū)動器
用于顯微鏡物鏡的高動態(tài)定位器
使用PIFOC對目標(biāo)進行Z定位
在許多檢查或顯微鏡技術(shù)中,都需要將樣品沿Z方向(即沿物鏡的光軸)定位??商娲兀梢栽赯方向上移動物鏡本身。為此,PI提供了名為PIFOC的解決方案。
PIMag®音圈電機