有效期至長期有效 | 最后更新2021-08-27 17:19 |
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德國PI (Physik Instrumente)A-322 帶空氣軸承的PIglideHS平面掃描儀
王鈺
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分辨率為1納米的XY定位系統(tǒng)
掃描應用的完美選擇或精密定位
行程達500毫米 × 1000毫米
分辨率達1納米
無塵室兼容
負載容量達245牛
速度高達2毫米/秒
PIglide參考級XY定位系統(tǒng)
PIglide HS平面掃描儀帶磁性線性電機、真空預載和絕對編碼器:非接觸式無摩擦運動可實現(xiàn)最高精度和可靠性。
絕對編碼器
絕對編碼器提供明確的位置信息,幫助即刻確定位置。這意味著在接通期間無需定位,提高了操作過程中的效率和安全性。
PIMag®磁力直接驅動
三相磁性直接驅動器在動力傳動系統(tǒng)中未使用機械零件,其可直接將驅動力傳輸至運動平臺,且無摩擦。驅動器可實現(xiàn)高速度和高加速度。 無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務,因為其不會與永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩(wěn)的運行,同時,在高速狀態(tài)下也不會產生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅動力可任意設定。
定位系統(tǒng)設計用于將產出最大化的同時確保最高精度。橋軸至龍門軸的撓性聯(lián)軸器可實現(xiàn)側向解耦,不會犧牲系統(tǒng)的剛性。
利用來自領先制造商的數(shù)字控制器,操作可提供高級控制算法,以改善動態(tài)性和誤差補償。
附件和可選配件
PIglide過濾器和空氣預處理器
額外的軸
機器底座
花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)
應用領域
PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應用,諸如計量、光子學和精密掃描以及半導體或平板顯示器制造中的應用。
由于運動無摩擦,不會形成顆粒,PIglide平臺非常適用于無塵室應用。
訂購信息:
A-322.AB1 PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,350 mm×350 mm行程,絕對編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V
A-322.BB1 PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,350 mm×500 mm行程,絕對編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V
A-322.CB1 PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,500 mm×500 mm行程,絕對編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V
A-322.DB1 PIglide HS平面掃描儀,空氣軸承,500 mm×1000 mm行程,絕對編碼器,1 nm傳感器分辨率,3相直線電機,48 V
德國PI (Physik Instrumente)A-322 帶空氣軸承的PIglideHS平面掃描儀
工作日
9:00-18:00