品牌德國PI (Physik Instrumente) | 有效期至長期有效 | 最后更新2022-01-19 11:54 |
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高動態(tài)納米定位器/帶直接位置測量的掃描器
楊文輝 QQ:2850590598 手機:18301216381 電話:010-64717020-118 傳真:010-84786709-666 郵件:sales11@handelsen.cn |
2軸和3軸版本(XY和XYθZ型)
§ 行程達(dá)200 微米
§ 亞納米級分辨率
· 計量
· 干涉測量
· 光子學(xué)/集成光學(xué)
· 平版印刷術(shù)
· 納米定位
· 掃描顯微鏡
· 樣本對準(zhǔn)
· 微加工
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量,且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時,數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。
專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。
柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動串?dāng)_均可得到實時主動補償(取決于帶寬)(主動導(dǎo)向)。即使在動態(tài)操作中,跟蹤精度也可高達(dá)納米級。
訂購信息
P-517.2CL
精密XY向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100微米,電容傳感器,平行計量,LEMO連接器
P-517.2CD
精密XY向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100微米,電容傳感器,平行計量,Sub-D連接器
P-527.2CL
精密XY向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米,電容傳感器,平行計量,LEMO連接器
P-527.2CD
精密XY向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米,電容傳感器,平行計量,Sub-D連接器
P-517.3CL
精密XYZ向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米 × 20 微米,LEMO連接器,電容傳感器,平行計量
P-517.3CD
精密XYZ向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米 × 20 微米,Sub-D連接器,電容傳感器,平行計量
P-527.3CL
精密XYZ向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米 × 20 微米,LEMO連接器,電容傳感器,平行計量
P-527.3CD
精密XYZ向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米 × 20 微米,Sub-D連接器,電容傳感器,平行計量
P-517.RCD
精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米,2 毫弧度,電容傳感器,平行計量,Sub-D連接器
P-527.RCD
精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米,4 毫弧度,電容傳感器,平行計量,Sub-D連接器
P-561 • P-562 • P-563 PIMars納米定位平臺
用于多達(dá)3軸的高精度納米定位系統(tǒng)
§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度
§ 行程達(dá)300 × 300 × 300微米
§ 電容式傳感器帶來最高線性度
§ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
§ 優(yōu)異的掃描平面度
§ 高動態(tài)XYZ版本
§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米
§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命
§ 超高真空版本達(dá)10-9百帕
· 掃描顯微鏡
· 掩模/晶圓定位
· 干涉測量
· 測量技術(shù)
· 生物技術(shù)
· 掃描和篩選
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量,且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時,數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。
專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。
柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動串?dāng)_均可得到實時主動補償(取決于帶寬)(主動導(dǎo)向)。即使在動態(tài)操作中,跟蹤精度也可高達(dá)納米級。
訂購信息
P-561.3CD
具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米 × 100 微米,Sub-D連接器,電容傳感器,平行計量
P-561.3CL
具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米 × 100 微米,LEMO連接器,電容傳感器,平行計量
P-561.3DD
PIMars高動態(tài)XYZ向納米定位系統(tǒng),45 微米 × 45 微米 × 15 微米,電容傳感器,平行計量,Sub-D連接器,直接驅(qū)動
P-562.3CD
具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米 × 200 微米,Sub-D連接器,電容傳感器,平行計量
P-562.3CL
具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米 × 200 微米,LEMO連接器,電容傳感器,平行計量
P-563.3CD
具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),300 微米 × 300 微米 × 300 微米,Sub-D連接器,電容傳感器,平行計量
P-563.3CL
具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),300 微米 × 300 微米 × 300 微米,LEMO連接器,電容傳感器,平
德國PI (Physik Instrumente) P-517 • P-527 多軸壓電陶瓷掃描儀工作日
9:00-18:00