PI (Physik Instrumente)P-612.Z 壓電Z向位移臺

P-612.Z 壓電Z向位移臺

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帶孔徑的緊湊型納米定位器

§ 行程100微米

§ 分辨率達(dá)0.2納米

§ 線性誤差 0.2 %

§ 結(jié)構(gòu)緊湊：表面60毫米×60毫米

§ 極其經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的系統(tǒng)（機(jī)械部件和控制 器）

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

應(yīng)用領(lǐng)域

·         干涉測量

·         顯微鏡

·         納米定位

·         生物技術(shù)

·         測試程序和質(zhì)量保證

·         半導(dǎo)體技術(shù)

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個循環(huán)。

訂購信息

P-612.Z0L

垂直納米定位平臺，110微米，孔徑為20毫米×20毫米，開環(huán)

P-612.ZSL

垂直納米定位平臺，100微米，孔徑為20毫米×20毫米，應(yīng)變片傳感器

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