德國PI 壓電陶瓷Z向位移臺/Z向和偏擺平臺P-541.Z ? P-541.T

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P-541.Z • P-541.T 壓電陶瓷Z向位移臺/Z向和偏擺平臺

低外形，大孔徑

§ 低外形用于實現(xiàn)簡易集成：16.5毫米

§ 通孔尺寸80 毫米×80 毫米

§ 行程達150微米

§ 偏擺角達1.2毫弧度

§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度

§ 傳感器技術(shù)：便宜的應(yīng)變片傳感器或可 實現(xiàn)更高性能的電容式傳感器

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 可與顯微鏡平臺組合實現(xiàn)更長行程

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         生物技術(shù)

·         掩模/晶圓定位

·         樣本定位

·         干涉測量

·         計量

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的設(shè)計，可實現(xiàn)快速、動態(tài)和精密的運動。

訂購信息

P-541.ZCD

帶大通光孔徑的垂直納米定位平臺，100微米，電容傳感器，直接位置測量

P-541.TCD

帶大孔徑的納米定位器Z向和偏擺平臺，100微米 / 0.8毫弧度，平行計量，電容傳感器

P-541.ZSL

帶大通光孔徑的垂直納米定位平臺，100微米，應(yīng)變片傳感器

P-541.TSL

帶大通光孔徑的納米定位器Z向和偏擺平臺，100微米/0.8毫弧度，應(yīng)變片傳感器

P-541.Z0L

帶大通光孔徑的垂直納米定位平臺，150微米，不帶傳感器

P-541.T0L

帶大通光孔徑的納米定位器Z向和偏擺平臺，150微米/1.2毫弧度，不帶傳感器


 

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