吳亞男
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德國PI小型線性平臺Q-521直供
壓電慣性驅(qū)動器
壓電陶瓷慣性驅(qū)動器為空間節(jié)約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動器，其保持力相對較大，行程幾乎是無限的。慣
性驅(qū)動原理是基于由特殊驅(qū)動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹，移動轉(zhuǎn)子。由
于其慣性，轉(zhuǎn)子無法跟上促動器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達20千赫茲時，驅(qū)動直接作用在動輪
上，實現(xiàn)最大為10毫米/秒的速度。
帶位置控制、分辨率高、價格實惠的最小線性平臺
Q-521
Q-Motion®小型線性平臺
? 寬僅21毫米、高僅10毫米
? 采用集成式增量編碼器實現(xiàn)直接位置測
量
? 編碼器分辨率高達1納米
? 最小位移高達2納米
? 帶接裝板或支架（作為選配件提供）的
多軸系統(tǒng)裝置
? 適用于高達10-
6百帕的真空環(huán)境，還可提供用于真空
達10-9百帕的版本
直接測量原理
可提供帶非接觸式光學線性編碼器的版本。分辨率為4 納米或1 納米，取決于不同版本。帶編碼器的版本具有參考點
開關(guān)。
真空和無磁性環(huán)境
所有Q-Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作，真空可達10-6 百帕。此外，適用于10-
9 百帕的超高真空變型也可供貨?？砂葱杼峁o磁性版本。
應(yīng)用領(lǐng)域
微裝配, 光子, 光學對準, 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測試
訂購信息
Q-521.100
Q-Motion®
小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為12毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.130
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.140
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.14U
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
Q-521.200
Q-Motion®
小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為22毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 32 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.230
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為22毫米，線性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.240
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為22毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.24U
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為22毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
Q-521.300
Q-Motion®
小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為32毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 42 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.330
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為32毫米，線性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.340
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為32毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.34U
Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為32毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
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