pi-P-733.3 XYZ 壓電納米定位器：
帶孔徑的高精度 XYZ 掃描儀
X、Y 方向的行程范圍為 100 µm × 100 µm，Z 方向的行程范圍為 10 µm
由于采用電容式傳感器，分辨率可達 0.1 nm
帶直接驅動的高速版本
可應要求提供超高真空兼容和非磁性版本
并行運動學可實現(xiàn)更高的精度和動態(tài)性
用于主動補償導向誤差的并行計量
零間隙、高精度撓性導軌系統(tǒng)
通光孔徑 50 mm × 50 mm，適用于透射光應用
pi-P-733.3 XYZ 壓電納米定位器
應用領域
掃描顯微鏡
共聚焦顯微鏡
掩模/晶圓定位
表面測量技術
納米壓印
顯微操作
圖像處理/穩(wěn)定
具有高平面度和運動直線度的納米定位
具有電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，無需接觸。它們保證出色的運動線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速組件更換
機械和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械裝置 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。
得益于 PICMA® 壓電執(zhí)行器，使用壽命長
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受因漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA® 執(zhí)行器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣執(zhí)行器長十倍。已證明 1000 億次循環(huán)無一次故障。
零間隙撓性導軌實現(xiàn)高導向精度
撓性導軌免維護、免摩擦和免磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且它們對沖擊和振動不敏感。它們 100% 真空兼容，可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。
由于平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有高跟蹤精度
所有的自由度都是根據(jù)一個單一的固定參考來測量的。軸之間不需要的串擾可以實時（取決于帶寬）主動補償（主動引導）。即使在動態(tài)操作中，也能在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。
pi-P-733.3 XYZ 壓電納米定位器
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