IBS 光學(xué)高速干涉儀ARINNA AR2/AR5/AR20/AR50
ARINNA能夠測量離散的步高和表面質(zhì)量,垂直分辨率為 <2nm。巨型像素?cái)z像頭可在 1 秒內(nèi)捕獲表面掃描??捎糜谠诰€缺陷檢測和特征化、光學(xué)表面和結(jié)構(gòu)測量、3D表面拓?fù)錅y量、MEMS/NEMS 檢測等。
ARINNA 是一種高速干涉儀,它結(jié)合了納米級表面測量的優(yōu)點(diǎn)、堅(jiān)固性和小巧的占地面積,使其能夠在您需要的地方進(jìn)行在線測量。雖然干涉儀帶來了速度、精度和無損測量的優(yōu)勢,但階梯結(jié)構(gòu)和嘈雜的環(huán)境通常是它們的局限性。ARINNA 并非如此。
ARINNA 采用的波長掃描技術(shù)避免了在測量頭中進(jìn)行機(jī)械掃描的需要,正如一些干涉測量系統(tǒng)所采用的那樣。這克服了對測量速度和系統(tǒng)集成(例如頭部 360 度定向的能力)的相關(guān)限制。對于在線使用,ARINNA 的設(shè)計(jì)中集成了獲得專利的振動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)。這種技術(shù)避免了對大型和/或復(fù)雜的隔離系統(tǒng)的需要;有時(shí)是高精度光學(xué)測量系統(tǒng)在現(xiàn)場應(yīng)用的限制因素。
AR2
李銀
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Z 范圍 (μm) 96
每次捕獲 FOV (毫米) 2,8 x 2,8。
Z 分辨率 (μm) 0,002
結(jié)果時(shí)間(秒) 1,5 (0,9 測量 +0,6 計(jì)算)
工作距離(毫米) 34
分辨率為 15kHz 有色 0,007%,有色 0,009%
零/偏移調(diào)整 是的
典型的熱漂移 0,01% F.S.*/C
LED 范圍指示器 是的
其他功能 帶寬:100 赫茲、1 kHz、10 kHz、15 kHz(用戶可選)
AR5
Z 范圍 (μm) 14
每次捕獲 FOV (毫米) 1,1 x 1,1
Z 分辨率 (μm) 0,002
結(jié)果時(shí)間(秒) 1,5
每次捕獲 FOV (毫米) 0,55 x 0,55
Z 分辨率 (μm) 0,002
工作距離(毫米) 34
分辨率為 15kHz 有色 0,007%,有色 0,009%
零/偏移調(diào)整 是的
典型的熱漂移 0,01% F.S.*/C
LED 范圍指示器 是的
其他功能 帶寬:250 赫茲、1 kHz、10 kHz、15 kHz(用戶可選)
AR10
Z 范圍 (μm) 2,4
結(jié)果時(shí)間(秒) 1,5
工作距離(毫米) 33,5
分辨率為 15kHz 有色 0,009%,有色 0,011%
零/偏移調(diào)整 是的
典型的熱漂移 0,04% F.S.*/C
LED 范圍指示器 是的
其他功能 兩個(gè)環(huán)境范圍 - 標(biāo)準(zhǔn)到 125C,高到 200C
AR20
Z 范圍 (μm) 1,6
每次捕獲 FOV (毫米) 0,28 x 0,28
Z 分辨率 (μm) 0,002
結(jié)果時(shí)間(秒) 1,5
工作距離(毫米) 20
分辨率為 15kHz 100納米@1kHz
零/偏移調(diào)整 不
典型的熱漂移 0,04% F.S.*/C
LED 范圍指示器 不
其他功能 兩個(gè)環(huán)境范圍 - 標(biāo)準(zhǔn)到 125C,高到 200C
AR50
Z 范圍 (μm) 0,9
每次捕獲 FOV (毫米) 0,11 x 0,11
Z 分辨率 (μm) 0,002
結(jié)果時(shí)間(秒) 1,5
工作距離(毫米)
分辨率為 15kHz 有色 0,02%,有色 0,02%
零/偏移調(diào)整 是的
典型的熱漂移 0,04% F.S.*/C
LED 范圍指示器 是的
IBS 光學(xué)高速干涉儀ARINNA AR2/AR5/AR20/AR50