IBS 光學(xué)高速干涉儀ARINNA AR2/AR5/AR20/AR50

 

 ARINNA能夠測量離散的步高和表面質(zhì)量，垂直分辨率為 <2nm。巨型像素?cái)z像頭可在 1 秒內(nèi)捕獲表面掃描?？捎糜谠诰€缺陷檢測和特征化、光學(xué)表面和結(jié)構(gòu)測量、3D表面拓?fù)錅y量、MEMS/NEMS 檢測等。

 

ARINNA 是一種高速干涉儀，它結(jié)合了納米級表面測量的優(yōu)點(diǎn)、堅(jiān)固性和小巧的占地面積，使其能夠在您需要的地方進(jìn)行在線測量。雖然干涉儀帶來了速度、精度和無損測量的優(yōu)勢，但階梯結(jié)構(gòu)和嘈雜的環(huán)境通常是它們的局限性。ARINNA 并非如此。

ARINNA 采用的波長掃描技術(shù)避免了在測量頭中進(jìn)行機(jī)械掃描的需要，正如一些干涉測量系統(tǒng)所采用的那樣。這克服了對測量速度和系統(tǒng)集成（例如頭部 360 度定向的能力）的相關(guān)限制。對于在線使用，ARINNA 的設(shè)計(jì)中集成了獲得專利的振動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)。這種技術(shù)避免了對大型和/或復(fù)雜的隔離系統(tǒng)的需要；有時(shí)是高精度光學(xué)測量系統(tǒng)在現(xiàn)場應(yīng)用的限制因素。

 

AR2

Z 范圍 （μm） 96

每次捕獲 FOV （毫米） 2，8 x 2，8。

Z 分辨率 （μm） 0,002

結(jié)果時(shí)間（秒） 1，5 （0，9 測量 +0，6 計(jì)算）

工作距離（毫米） 34

分辨率為 15kHz 有色 0，007%，有色 0，009%

零/偏移調(diào)整 是的

典型的熱漂移 0，01% F.S.*/C

LED 范圍指示器 是的

其他功能 帶寬：100 赫茲、1 kHz、10 kHz、15 kHz（用戶可選）

 

AR5

Z 范圍 （μm） 14

每次捕獲 FOV （毫米） 1，1 x 1，1

Z 分辨率 （μm） 0,002

結(jié)果時(shí)間（秒） 1,5

每次捕獲 FOV （毫米） 0，55 x 0，55

Z 分辨率 （μm） 0,002

工作距離（毫米） 34

分辨率為 15kHz 有色 0，007%，有色 0，009%

零/偏移調(diào)整 是的

典型的熱漂移 0，01% F.S.*/C

LED 范圍指示器 是的

其他功能 帶寬：250 赫茲、1 kHz、10 kHz、15 kHz（用戶可選）

 

AR10

Z 范圍 （μm） 2,4

結(jié)果時(shí)間（秒） 1,5

工作距離（毫米） 33,5

分辨率為 15kHz 有色 0，009%，有色 0，011%

零/偏移調(diào)整 是的

典型的熱漂移 0，04% F.S.*/C

LED 范圍指示器 是的

其他功能 兩個(gè)環(huán)境范圍 - 標(biāo)準(zhǔn)到 125C，高到 200C

 

AR20

Z 范圍 （μm） 1,6

每次捕獲 FOV （毫米） 0，28 x 0，28

Z 分辨率 （μm） 0,002

結(jié)果時(shí)間（秒） 1,5

工作距離（毫米） 20

分辨率為 15kHz 100納米@1kHz

零/偏移調(diào)整 不

典型的熱漂移 0，04% F.S.*/C

LED 范圍指示器 不

其他功能 兩個(gè)環(huán)境范圍 - 標(biāo)準(zhǔn)到 125C，高到 200C

 

 

AR50

Z 范圍 （μm） 0,9

每次捕獲 FOV （毫米） 0，11 x 0，11

Z 分辨率 （μm） 0,002

結(jié)果時(shí)間（秒） 1,5

工作距離（毫米）

分辨率為 15kHz 有色 0，02%，有色 0，02%

零/偏移調(diào)整 是的

典型的熱漂移 0，04% F.S.*/C

LED 范圍指示器 是的

 

 

 
 IBS 光學(xué)高速干涉儀ARINNA AR2/AR5/AR20/AR50