主要產品
離子源電源
加速器
中和器
發(fā)射器
通訊模塊
脈沖發(fā)生器
單極脈沖發(fā)生器
濺射電源
直流電源
直流濺射電源
中頻雙極型脈沖發(fā)生器
主要型號
ADL GG03
ADL GIP10
ADL GG12
ADL Profibus 2.547
ADL GS 05 – GS 30
ADL GS 60 – GS 150
ADL GSW 100 – GSW 300
ADL GX 50 – GX 150
ADL HX 150 – HX 300
ADL SD 30
ADL SD 150
ADL SD 300
ADL SB 300
ADL GSW 100/500
ADL GSW 100/800
ADL GSW 150/400
ADL GSW 150/500
ADL GS 60/800
ADL GS 80/800
ADL GSW 200/1000
ADL GX 50/800
ADL GX 60/800
ADL HX 150/400
ADL HX 150/500
ADL HX 150/800
ADL HX 150/1000
ADL HX 200/800
ADL GP 10/800
ADL GP 15/800
ADL GP 20/800
ADL GP 30/800
ADL GP 30/1000
ADL GP 60/800
ADL GP 100/800
ADL GP 120/800
ADL GP 150/800
ADL RD 300
ADL GG 03
ADL GG 03.1
ADL GG 12
ADL GG 12.1
常用產品介紹
直流濺射電源GS 05 - GS 30
緊湊型設備已開發(fā)用于生產和實驗室設施中較小的磁子。由于操作簡單安全,電源可以非常靈活地使用。
弧形處理自動適應不同的過程參數(shù),因此無需編程工作。這些設備設計用于安裝在 19" 組件中。
輸出功率0.5-3.0kW
空氣 1/2 19" 內置住房, 3R
可互換接口模塊
電壓、電流和電源的數(shù)字顯示屏
通過前面板手動操作
自動弧形處理
直流濺射電源GS 60–GS 150
GS 60 – GS 150 系列的氣冷直流電源有三種操作變種:主動前面板、被動前面板和狀態(tài) LED。電源可在不限制切換時間的情況下全額定功率運行。
幾個模塊的并行操作是可能的。GS 60–GS 150系列,像所有ADL電源一樣,具有極快的自動弧線取消。設備的操作非常簡單和安全。
輸出功率 6.0 - 15kW
空氣
19" 內置住房, 3U
無潛力輸出
焦耳時尚
自動弧形處理
直流濺射電源GSW 100–GSW 300
可同時運行至240kW,可增加輸出功率。有了特殊的電路概念,"主奴隸布線"可以免除。即使在非空調客房,高效的水冷卻也可確保最大的可靠性。
這些設備可以通過活動前面板或界面手動操作。提供各種前面板和接口模塊。極快的弧形處理完全自動工作,即使在并行操作中也不需要外部同步。
輸出功率10-30kW
水冷卻
19"住房, 3 U
電磁閥控制
無潛力輸出
并行運行至240kW
自動弧形處理
直流濺射電源GX 50–GX 150
GX 濺射電源能夠自動擦除高達每秒 80,000 個弧。極端性能,加上小尺寸,是GX系列的突出標志。
這些設備可以全額定功率運行,不受切換時間的限制,也可以并行連接。
輸出功率5-15kW
水冷卻
1/2 19" 住房, 3U
無潛力輸出
焦耳時尚
自動弧形處理
直流濺射電源 HX 150 - HX 300
1/2 19"寬度和5U的極其緊湊的設計是專門為生產工廠開發(fā)的,其中將不配用控制柜。HX 具有安裝選項卡,可直接集成到任何安裝位置的系統(tǒng)中。
顯示屏是旋轉的,可以從設備中分離出來。即使在非空調客房,高效的水冷卻也可確保最大的可靠性。為了避免凝結,可以通過集成溫度控制連接外部電磁閥。
可同時運行至240kW,可增加輸出功率。特殊的電路概念允許主奴隸操作和并行控制通過界面組合或Provibus。極快的弧形處理完全自動工作,因此無需設置參數(shù)。
輸出功率 15kW 至 30kW
并行運行至240kW
水冷卻
電磁閥控制
帶灰塵顆粒分離器的住房通風
1/219" 住房, 5U
法蘭格緊固件
M8 女線起重機小眼
可拆卸旋轉顯示屏
自動弧形處理
離子源電源
對于離子源(考夫曼和ECR)的操作,提供各種特殊設備,也可以根據(jù)要求提供其他輸出電壓或服務。
所有設備均可選擇配備模擬接口或與 Profibus 連接。
脈沖發(fā)生器、選項和配件
PULSE 發(fā)電機 RD 300 與大多數(shù) ADL 電源一起,按照共振開關原理工作。由于效率極高(30kW時為99.5%),該設備非常緊湊,只能產生最大150W的低耗電量。
現(xiàn)有系統(tǒng)可以很容易地進行改裝,因為發(fā)電機與直流電源并行直接連接到陰極。該設備的工作頻率為 2kHz。但是,使用外部信號發(fā)生器,頻率可在 0.2 到 3kHz 之間變化。幾個發(fā)電機可以通過控制線進行自動同步連接。
單極脈沖發(fā)生器 SD 30、SD 150 和 SD 300
脈沖發(fā)生器與ADL直流電源一起生成單極脈沖。這些設備的固定頻率為 20kHz。使用外部信號發(fā)生器,頻率變化范圍從 1kHz 到 40kHz 不等。發(fā)電機具有自動電弧抑制。
行程級別和中斷時間的參數(shù)會自動適應相應的過程。不需要用戶通常的編程。幾個發(fā)電機可以通過控制線進行同步連接。設備自動切換到外部同步。
輸出功率 3 千瓦,15 千瓦,30 千瓦
并行運行至240千瓦
自動弧形處理
無潛力輸出
自動同步
空氣
非常緊湊的設計
法蘭格緊固件
中頻和雙極脈沖發(fā)生器 SB 300
雙極脈沖發(fā)生器 SB 300 既可用作中頻發(fā)生器,以生成平衡交替電流,也可用于非對稱方脈沖的雙極脈沖器。通過特殊的功率商控制,雙磁子的目標壽命可以精確對稱。
兩種不同的目標材料也可以用不對稱的脈沖能力進行控制。Qotienten 控制器通過脈沖寬度調制 (PWM) 自動設置脈沖時間。該設備的固定頻率為 20kHz。發(fā)電機具有自動電弧抑制。
行程級別和中斷時間的參數(shù)會自動適應相應的過程。不需要用戶通常的編程!幾個發(fā)電機可以通過控制線進行同步連接。設備自動切換到外部同步。
輸出功率 30kW,交流電
主/奴隸或并行操作中的設備組合,最高可達 240kW
比率功率控制器
自動同步
水冷卻
非常緊湊的設計
無潛力輸出
模塊化系統(tǒng)允許 HX (DC) 與單極脈沖發(fā)生器 (SD) 或雙極脈沖發(fā)生器 (SB) 的組合
緊湊型 1/2 19" 設計
雙極脈沖發(fā)生器與PWM控制保證絕對對稱濺射!
卓越的超高速和全自動弧形管理
過程可重復性:優(yōu)于 1-2%
技術優(yōu)勢作為核心競爭力
ADL模擬和數(shù)字萊斯頓塞萊克特羅尼克有限公司開發(fā)獨立和復雜的技術,測試方法和生產方法的工業(yè)電源。達姆施塔特的生產基地擁有極高的垂直制造范圍和廣泛的質量管理,生產出"德國制造"的優(yōu)質設備