德國PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向納米定位系統(tǒng)

　　德國PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向納米定位系統(tǒng)
 

　　快速和高精度驅(qū)動(dòng)器

 

　　光纖對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的基礎(chǔ)是非常堅(jiān)硬的設(shè)置，配有H-811六足機(jī)和P-616NanoCube®納米定位儀。 用于自由度運(yùn)動(dòng)的平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)確保了高系統(tǒng)剛度。 電動(dòng)驅(qū)動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)的行程范圍，同時(shí)，NanoCube®納米定位器可確?？焖賿呙柽\(yùn)動(dòng)和漂移效果的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償。 柔性導(dǎo)軌和全陶瓷絕緣PICMA®執(zhí)行器可確保較長(zhǎng)的使用壽命。 因?yàn)樗序?qū)動(dòng)器都配備有位置傳感器，所以例如可以可靠地防止與昂貴的硅晶片的碰撞。

 

　　

 

　　訂購信息

 

　　P-517.2CL

 

　　精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，LEMO連接器

 

　　P-517.2CD

 

　　精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器

 

　　P-527.2CL

 

　　精密XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，LEMO連接器

 

　　P-527.2CD

 

　　精密XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器

 

　　P-517.3CL

 

　　精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

　　P-517.3CD

 

　　精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

　　P-527.3CL

 

　　精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

　　P-527.3CD

 

　　精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

　　P-517.RCD

 

　　精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器

 

　　P-527.RCD

 

　　精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器

 

　　P-561 • P-562 • P-563 PIMars納米定位平臺(tái)

 

　　用于多達(dá)3軸的高精度納米定位系統(tǒng)

 

　　§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度

 

　　§ 行程達(dá)300 × 300 × 300微米

 

　　§ 電容式傳感器帶來最高線性度

 

　　§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

 

　　§ 優(yōu)異的掃描平面度

 

　　§ 高動(dòng)態(tài)XYZ版本

 

　　§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

 

　　§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽 命

 

　　§ 超高真空版本達(dá)10-9百帕

 

　　描述

 

　　應(yīng)用領(lǐng)域

 

　　· 掃描顯微鏡

 

　　· 掩模/晶圓定位

 

　　· 干涉測(cè)量

 

　　· 測(cè)量技術(shù)

 

　　· 生物技術(shù)

 

　　· 掃描和篩選

 

　　帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

 

　　電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

 

　　自動(dòng)配置和快速部件更換

 

　　機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

 

　　適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

 

　　壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

 

　　PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽命

 

　　專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

 

　　零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

 

　　柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

 

　　并聯(lián)位置測(cè)量實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的高跟蹤精度

 

　　各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償(取決于帶寬)(主動(dòng)導(dǎo)向)。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。

 

　　訂購信息

 

　　P-561.3CD

 

　　具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

　　P-561.3CL

 

　　具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

　　P-561.3DD

 

　　PIMars高動(dòng)態(tài)XYZ向納米定位系統(tǒng)，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器，直接驅(qū)動(dòng)

 

　　P-562.3CD

 

　　具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

　　P-562.3CL

 

　　具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

　　P-563.3CD

 

　　具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

　　P-563.3CL

 

　　具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量