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德國PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向納米定位系統(tǒng)

    

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品牌Physik Instrumente 有效期至長(zhǎng)期有效 最后更新2021-12-13 10:48
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德國PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向納米定位系統(tǒng)

  德國PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向納米定位系統(tǒng)
 
  快速和高精度驅(qū)動(dòng)器
 
  光纖對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的基礎(chǔ)是非常堅(jiān)硬的設(shè)置,配有H-811六足機(jī)和P-616NanoCube®納米定位儀。 用于自由度運(yùn)動(dòng)的平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)確保了高系統(tǒng)剛度。 電動(dòng)驅(qū)動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)的行程范圍,同時(shí),NanoCube®納米定位器可確??焖賿呙柽\(yùn)動(dòng)和漂移效果的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償。 柔性導(dǎo)軌和全陶瓷絕緣PICMA®執(zhí)行器可確保較長(zhǎng)的使用壽命。 因?yàn)樗序?qū)動(dòng)器都配備有位置傳感器,所以例如可以可靠地防止與昂貴的硅晶片的碰撞。
 
  
 
李銀
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  訂購信息
 
  P-517.2CL
 
  精密XY向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100微米,電容傳感器,平行計(jì)量,LEMO連接器
 
  P-517.2CD
 
  精密XY向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100微米,電容傳感器,平行計(jì)量,Sub-D連接器
 
  P-527.2CL
 
  精密XY向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米,電容傳感器,平行計(jì)量,LEMO連接器
 
  P-527.2CD
 
  精密XY向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米,電容傳感器,平行計(jì)量,Sub-D連接器
 
  P-517.3CL
 
  精密XYZ向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米 × 20 微米,LEMO連接器,電容傳感器,平行計(jì)量
 
  P-517.3CD
 
  精密XYZ向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米 × 20 微米,Sub-D連接器,電容傳感器,平行計(jì)量
153047681132.jpg.thumb
  P-527.3CL
 
  精密XYZ向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米 × 20 微米,LEMO連接器,電容傳感器,平行計(jì)量
 
  P-527.3CD
 
  精密XYZ向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米 × 20 微米,Sub-D連接器,電容傳感器,平行計(jì)量
 
  P-517.RCD
 
  精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米,2 毫弧度,電容傳感器,平行計(jì)量,Sub-D連接器
 
  P-527.RCD
 
  精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米,4 毫弧度,電容傳感器,平行計(jì)量,Sub-D連接器
 
  P-561 • P-562 • P-563 PIMars納米定位平臺(tái)

德國PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向納米定位系統(tǒng)
德國PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向納米定位系統(tǒng)
 
  用于多達(dá)3軸的高精度納米定位系統(tǒng)
 
  § 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度
 
  § 行程達(dá)300 × 300 × 300微米
 
  § 電容式傳感器帶來最高線性度
 
  § 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
 
  § 優(yōu)異的掃描平面度
 
  § 高動(dòng)態(tài)XYZ版本
 
  § 通孔尺寸66 毫米×66毫米
 
  § PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽 命
 
  § 超高真空版本達(dá)10-9百帕
 
  描述
 
  應(yīng)用領(lǐng)域
 
  · 掃描顯微鏡
 
  · 掩模/晶圓定位
 
  · 干涉測(cè)量
 
  · 測(cè)量技術(shù)
 
  · 生物技術(shù)
 
  · 掃描和篩選
 
  帶電容式傳感器,實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率
 
  電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
 
  自動(dòng)配置和快速部件更換
 
  機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。
 
  適用于復(fù)雜真空應(yīng)用
 
  壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。
 
  PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽命
 
  專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
 
  零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度
 
  柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
 
  并聯(lián)位置測(cè)量實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的高跟蹤精度
 
  各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償(取決于帶寬)(主動(dòng)導(dǎo)向)。即使在動(dòng)態(tài)操作中,跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。
 
  訂購信息
 
  P-561.3CD
 
  具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米 × 100 微米,Sub-D連接器,電容傳感器,平行計(jì)量
 
  P-561.3CL
 
  具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米 × 100 微米,LEMO連接器,電容傳感器,平行計(jì)量
 
  P-561.3DD
 
  PIMars高動(dòng)態(tài)XYZ向納米定位系統(tǒng),45 微米 × 45 微米 × 15 微米,電容傳感器,平行計(jì)量,Sub-D連接器,直接驅(qū)動(dòng)
 
  P-562.3CD
 
  具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米 × 200 微米,Sub-D連接器,電容傳感器,平行計(jì)量
 
  P-562.3CL
 
  具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),200 微米 × 200 微米 × 200 微米,LEMO連接器,電容傳感器,平行計(jì)量
 
  P-563.3CD
 
  具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),300 微米 × 300 微米 × 300 微米,Sub-D連接器,電容傳感器,平行計(jì)量
 
  P-563.3CL
 
  具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng),300 微米 × 300 微米 × 300 微米,LEMO連接器,電容傳感器,平行計(jì)量
 
 
 德國PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向納米定位系統(tǒng)
 
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