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Busch螺桿真空泵COBRA BC系列簡介

    

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品牌Busch 有效期至長期有效 最后更新2021-12-23 14:26
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Busch螺桿真空泵COBRA BC系列簡介

Busch螺桿真空泵COBRA BC系列簡介
吳亞男小組
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吳亞男小組郵箱:tk2@handelsen.cn電話:010-64714988-212 吳亞男小組微信二維碼
擁有成本低,維護(hù)少,保養(yǎng)間隔長,正常運(yùn)行時間長,直接水冷卻等優(yōu)點(diǎn);
結(jié)構(gòu)緊湊;密閉式設(shè)計;適用于輕型到中型半導(dǎo)體應(yīng)用的理想解決方案;
先進(jìn)的螺桿設(shè)計,鐘形懸臂結(jié)構(gòu),榮獲專利的自平衡螺桿,出色的運(yùn)行品質(zhì),集成羅茨泵,非常適用于 load lock 腔和傳送腔、計量、平版印刷術(shù)、物理氣相沉積以及快速熱退火以及和蝕刻工藝(如氧化物、硅和金屬)等應(yīng)用;
 
螺桿真空泵
自調(diào)節(jié)冷卻裝置
Busch型號
Busch真空泵RA0100F503S/N:D15450588
Busch泵R5 RA 0160-0302D
Busch螺桿真空泵COBRA BC 1000 F
Busch油分配器0531-000-002
Busch.0524108652
Busch真空泵R5A0040E
Busch真空泵SV1025C000
Busch螺桿真空泵 
工作原理
在 干式 螺桿真空泵中, 兩個螺桿轉(zhuǎn)子 沿著相反方向旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被吸入泵缸和螺桿腔室之間
經(jīng)壓縮后輸送至出口。在此過程中,螺桿轉(zhuǎn)子不會相互接觸,也不與泵腔接觸。
可通過 風(fēng)冷或水冷 實(shí)現(xiàn)冷卻。
 
我們的螺桿真空泵產(chǎn)品組合
COBRA Industry  用于工業(yè)應(yīng)用的干式螺桿真空泵
COBRA Semicon  用于中高真空應(yīng)用的干式螺桿真空泵
 
用于化工與制藥工藝的干式真空技術(shù)
真空在化工和制藥工藝中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。無論是在真空輸送、惰化、蒸餾還是干燥過程,對真空的利用無處不在,這可以確保加工過程更快更安全也更經(jīng)濟(jì),或者純粹只是為了確保相關(guān)過程得以實(shí)現(xiàn)。
產(chǎn)生真空的各種技術(shù)是通用的。數(shù)十年來,液環(huán)真空泵和蒸汽噴射器一直是產(chǎn)生真空的強(qiáng)大工具。
但是,就像使用循環(huán)油潤滑的旋片真空泵一樣,它們有一個缺點(diǎn):它們需要工作液,而工作液會與工藝氣體接觸。
 
創(chuàng)新:干式螺桿真空泵
在 20 世紀(jì) 90 年代中期,Busch 普旭將第一臺螺桿真空泵投入市場,即 COBRA。與之前使用的液環(huán)真空泵相比,主要區(qū)別在于 COBRA 螺桿真空泵無需工作液來壓縮工藝氣體。“干式”螺桿真空泵(圖 1)的名字就是由此而來?,F(xiàn)在,干式螺桿真空技術(shù)在化工和制藥行業(yè)的應(yīng)用也非常廣泛。
Busch檢漏儀 
工作原理
在螺桿真空泵中,兩個互鎖的螺桿形轉(zhuǎn)子沿著相反方向旋轉(zhuǎn)(圖 2)。將吸入的工藝氣體收集在泵缸和螺桿之間的腔室中,經(jīng)壓縮后輸送至排氣口。在壓縮過程中,螺桿轉(zhuǎn)子不相互接觸,也不與泵缸接觸。此工作原理得益于精良的制造工藝和運(yùn)轉(zhuǎn)部件之間的最小間隙,能夠確保最小極限壓力(絕對壓力最高 0.01 毫巴)。
 
COBRA 螺桿真空泵與冷卻系統(tǒng)同時運(yùn)行,它可以確保整個泵體內(nèi)熱量均勻分配,熱效率和穩(wěn)定性更高。這樣,選擇溫度時就可以確保其不至于過低而導(dǎo)致工藝氣體凝結(jié),也不至于過高而發(fā)生與溫度相關(guān)的潛在問題,如氣體沉積或自燃。
不使用工作液,在工藝室壓縮時就不會發(fā)生污染或化學(xué)反應(yīng)。
Busch螺桿真空泵COBRA BC系列簡介
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