laurell EDC-650-15B電子數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)
控制器:650 系列
最大基板尺寸;ø300毫米(9英寸×9英寸)
最大轉(zhuǎn)速:12,000 轉(zhuǎn)/每分
支持的流程:
HL系列通常用于溶劑型、堿型或酸性加工的手套箱:涂層、蝕刻、顯影、漂洗-干燥和清潔。雖然所有這些過(guò)程都得到支持,但勞雷爾建議僅使用一次性,因?yàn)橐阎牟牧蠜_突。例如,光刻膠和顯影劑(交叉污染),以及 SC-1 和 SC-2(HCl + NH4OH),會(huì)產(chǎn)生 NH4Cl,吸入危險(xiǎn)。 提供許多手動(dòng)和自動(dòng)分配選項(xiàng)。
郭秀
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