L-738 精密XY位移平臺(tái)
王春風(fēng)
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產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
?行程為102毫米×102毫米(4")
?大孔徑,150毫米×150毫米
?單向重復(fù)精度達(dá)0.05微米
?速度達(dá)90毫米/秒
?兩相步進(jìn)電機(jī),直流–電機(jī)
?增量線性編碼器分辨率為1納米
產(chǎn)品參數(shù):
主動(dòng)軸 X, Y
行程 102 × 102 毫米
角度誤差xry(螺距) ±40 微弧度
角度誤差xrz(偏轉(zhuǎn)角) ±20 微弧度
角度誤差yrx(螺距) ±40 微弧度
角度誤差yrz(偏轉(zhuǎn)角) ±20 微弧度
直線度/平面度 ±2 微米
正交性 ±96.963 微弧度
速度:
L-738.053111 / L-738.053112:50
L-738.053132:90
負(fù)載容量 200
工作電壓,標(biāo)稱值 24 伏
工作電壓,最大值 48伏
X向上的移動(dòng)質(zhì)量,14.6
Y向上的移動(dòng)質(zhì)量, 5.8
產(chǎn)品型號(hào):
L-738.051100
L-738.051111
L-738.051112
L-738.05313
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德國PI L-738 精密XY位移平臺(tái)