德國PI N-111線性促動器
王春風(fēng)
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產(chǎn)品優(yōu)勢:
?行程10毫米
?帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器5納米
?力量生成達50牛
?保持力達70牛
應(yīng)用領(lǐng)域:
?工業(yè)級精度定位
?半導(dǎo)體技術(shù)
?半導(dǎo)體測試
?晶圓檢測
?平版印刷術(shù)
?納米壓印
?納米測量
?強磁場和真空中運動
產(chǎn)品參數(shù):
型號:
N-111.201
N-111.2A1
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德國PI N-111線性促動器