SPM3系列三軸超高速納米定位器
三軸超高速納米定位器。
SPM3級的Z部分可以具有高達(dá)50μm的行程范圍，并提供市場上最高的速度能力（高達(dá)12.5kHz諧振頻率）。專為原子力顯微鏡等要求苛刻的計量應(yīng)用而設(shè)計
SPM3載物臺是一款3軸超高速納米定位器，沿X和Y的行程范圍高達(dá)75μm，兩個軸上的諧振頻率均高于2kHz。
SPM3級的Z部分可具有高達(dá)50μm的行程范圍，并提供市場上最高的速度能力，最大諧振頻率為12.5kHz。事實上，當(dāng)與高功率控制器一起使用時，SPM3.5在Z軸上的階躍響應(yīng)時間可以小于一毫秒。這就是為什么SPM載物臺特別適合要求苛刻的計量應(yīng)用，如原子力顯微鏡。
它可以與粗定位的微載物臺結(jié)合使用（請參閱我們的混合系統(tǒng)）。該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分（提供高功率控制器）
LFS3 是一款 3 軸納米定位器，沿 X 和 Y 提供 100μm 的行程，沿 Z 軸的行程為 20 μm，孔徑為 40 x 40 mm
該壓電級可以與粗定位的微級結(jié)合使用。
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