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2024新上市SPS旋涂?jī)xPOLOS SPIN150x用于分配化學(xué)品

    

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品牌SPS POLOS 有效期至長(zhǎng)期有效 最后更新2024-01-17 13:22
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2024新上市SPS旋涂?jī)xPOLOS SPIN150x用于分配化學(xué)品

 

SPS旋涂?jī)xPOLOS SPIN150x 2024新上市



POLOS 旋涂機(jī)

我們的POLOS®單晶圓旋涂布機(jī)有NPP或PTFE兩種材質(zhì)。這些高質(zhì)量的旋涂機(jī)專(zhuān)為MEMS、半導(dǎo)體、

生命科學(xué)、光伏、微流控等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。適用于所有典型的旋轉(zhuǎn)工藝:

清潔、漂洗/干燥、涂層、顯影、玻璃滑動(dòng)和蝕刻。


POLOS® SPIN150x 是一種多功能、高質(zhì)量的基底旋涂機(jī),由 NPP 制成。它專(zhuān)為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。

臺(tái)式型號(hào)可手動(dòng)或自動(dòng)(可選)分配化學(xué)品。


腔體規(guī)格

外殼材質(zhì) 天然聚丙烯(NPP)

最大底物直徑 最大可用 6” (150 mm) 晶圓

最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物

 

IMG_20230410_162228(1).jpg

 

適用范圍

• 涂層

• 清洗沖洗/烘干

• 顯影

• 刻蝕

• PDMI

• 其他程序


硬件規(guī)格:

•液體過(guò)濾疏水閥

• 外殼和排水管設(shè)計(jì),可切換桌面和Indeck模式用于注射器或噴嘴的中心注射支架

• 蓋鎖和真空傳感器確保用戶(hù)安全

• 大尺寸觸摸顯示屏(可拆卸)

• USB 端口,用于在 USB 驅(qū)動(dòng)器上存儲(chǔ)配方和進(jìn)行軟件更新


驅(qū)動(dòng)裝置規(guī)格:

• 間接無(wú)刷驅(qū)動(dòng)裝置

• 轉(zhuǎn)速高達(dá) 12.000 RPM(取決于底物/卡盤(pán))

• 高加速度、高精度

• 加速/減速 1-30.000 RPM

• 順時(shí)針、逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)和漩渦選項(xiàng)

 

 

SPS旋涂?jī)xPOLOS SPIN150x 2024新上市


 

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