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COMET射頻發(fā)生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP用于半導體廣播

    

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品牌COMET 有效期至長期有效 最后更新2024-11-08 16:49
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COMET射頻發(fā)生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP用于半導體廣播

  

COMET射頻發(fā)生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 


專為在動態(tài)負載下實現(xiàn)最高穩(wěn)定性而設計。

cito Plus 提供脈沖質(zhì)量、穩(wěn)定性和功率測量精度，使其成為等離子體沉積和蝕刻應用以及非半導體應用的選擇。

正常運行時間長 - 專注于吞吐量和降低運營成本

精度、可重復性和穩(wěn)定性的價值 - 滿足您的工藝要求

更高的電源效率 - 更好的經(jīng)濟性和環(huán)保型


cito Plus系列特征

對稱開環(huán)響應

高精度功率控制

脈沖高達 100 kHz

具有可變相位延遲的 CEX

CEX 輸出分頻器

符合 SEMI 標準


cito Plus系列好處

可預測的等離子體行為

輕松的系統(tǒng)集成

可重復的晶圓結(jié)果

在任何電纜長度下都能保持穩(wěn)定

在任何負載下均具有出色的脈沖形狀

與大多數(shù)生產(chǎn)設備兼容

 

cito Plus.png

 

citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 技術參數(shù)

訂貨號 64001035 

系列 cito Plus 

頻率 13.56 MHz

射頻功率 600 瓦

脈沖 是的

前面板 積極

現(xiàn)場總線 沒有

模擬接口 25 針

匹配網(wǎng)絡接口 AGS 系列

交流輸入 187 至 265 VAC 

冷卻 空氣

射頻輸出連接器 N 型

 

COMET射頻發(fā)生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 

盧歡歡
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