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*N-865 PI微型定位六足位移臺(tái)

    

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品牌PI 有效期至長(zhǎng)期有效 最后更新2021-06-07 11:09
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*N-865 PI微型定位六足位移臺(tái)

趙曉東
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 *N-865 PI微型定位六足位移臺(tái)

N-865 NEXACT&amp;#174; SpaceFAB
六自由度,zui gao 精度,扁平化設(shè)計(jì)

PI公司介紹:

PI位于德國(guó),是一家典型的高科技中型企業(yè)。公司的規(guī)模使其能迅速靈活地響應(yīng)客戶(hù)的要求,同時(shí)還可滿(mǎn)足已建立并經(jīng)測(cè)試的流程的可靠性和安全性要求。PI因其產(chǎn)品的高質(zhì)量和客戶(hù)關(guān)系的整體可靠性而聞名。

由于PI致力于在范圍內(nèi)將其廣泛的技術(shù)型譜用于精密定位,PI (Physik Instrumente)已成為OEM業(yè)務(wù)中的強(qiáng)大合作伙伴。這向客戶(hù)保證了PI將始終為他們的應(yīng)用選擇解決方案,且無(wú)任何限制。

PiezoWalk®技術(shù):高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動(dòng)器與壓電電機(jī)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)結(jié)合在一起。PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不僅能提供亞納米級(jí)分辨率、較大的力和高剛性,而且根據(jù)其驅(qū)動(dòng)原理,其還能實(shí)現(xiàn)理論上無(wú)限的行程。不同于其他壓電機(jī)動(dòng)化驅(qū)動(dòng)器原理,PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦作用的影響。其是基于幾個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器的靜摩擦接觸,這幾個(gè)促動(dòng)器沿一個(gè)動(dòng)輪步進(jìn)。前饋時(shí),促動(dòng)器被從動(dòng)輪處物理提升,幾乎不會(huì)造成任何磨損。在促動(dòng)器上相對(duì)于動(dòng)輪施加預(yù)載可確保步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器自鎖。因此,步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器靜止?fàn)顟B(tài)下將保持位置,關(guān)機(jī)時(shí)可實(shí)現(xiàn)機(jī)械穩(wěn)定(無(wú)伺服抖動(dòng))。靜止?fàn)顟B(tài)自鎖,無(wú)能量消耗,無(wú)熱量產(chǎn)生。

 

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測(cè)量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā),在對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理后,可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)低于1納米的位置分辨率。光學(xué)非接觸式PIOne編碼器基于干涉測(cè)量原理。其以極高的精度直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行實(shí)際位置測(cè)量,因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對(duì)位置測(cè)量造成影響。由于信號(hào)周期僅為0.5微米,信號(hào)質(zhì)量高,PIOne編碼器的線性誤差小于1 %。PIOne編碼器在研究參考信號(hào)時(shí)支持方向感應(yīng)。

 

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承,滾珠軸承中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線接觸取代。因此,它們的剛度明顯提高,需要的預(yù)載更小,這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱軸承的另一個(gè)特征是高導(dǎo)向精度和負(fù)載能力。力導(dǎo)向滾動(dòng)體保持架防止線性導(dǎo)向蠕變。

 

有效zhuan li 

在壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器(NEXACT®、NEXLINE®)技術(shù)領(lǐng)域,PI擁有以下zhua li或zhuan li申請(qǐng):

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

 

應(yīng)用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機(jī)械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機(jī)械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動(dòng)化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無(wú)磁性環(huán)境中的應(yīng)用。.

 

規(guī)格

初步數(shù)據(jù) N-865.160 單位 公差
運(yùn)動(dòng)和定位      

主動(dòng)軸

X,Y,Z,θX,θY,θZ

 

 

集成傳感器

增量線性編碼器PIOne

 

 

X、Y向上的行程*

±6.5

毫米

 

Z向上的行程*

±5

毫米

 

θX、θY向上的旋轉(zhuǎn)范圍*

±7

°

 

θZ向上的旋轉(zhuǎn)范圍*

±8

°

 

傳感器分辨率

0.5

納米

 

X、Y向上的小位移

2

納米

典型值

Z向上的小位移

2

納米

典型值

θX、θY、θZ向上的小位移

0.2

微弧度

典型值

X向上的單向重復(fù)精度

±40

納米

典型值

Y向上的單向重復(fù)精度

±30

納米

典型值

Z向上的單向重復(fù)精度

±20

納米

典型值

θX向上的單向重復(fù)精度

±5

微弧度

典型值

θY向上的單向重復(fù)精度

±7

微弧度

典型值

θZ向上的單向重復(fù)精度

±7

微弧度

典型值

X向上的空回

70

納米

典型值

Y向上的空回

30

納米

典型值

Z向上的空回

20

納米

典型值

θX向上的空回

12

微弧度

典型值

θY向上的空回

9

微弧度

典型值

θZ向上的空回

4

微弧度

典型值

機(jī)械特性      

X、Y向上的負(fù)載能力

7,5

Z向上的負(fù)載能力(底板為水平方向)

15

驅(qū)動(dòng)類(lèi)型

NEXACT®壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

 

 

其他      

連接

HD Sub-D 78(公)

 

 

傳感器連接

2個(gè)HD Sub-D 26針(母)

 

 

材料

不銹鋼,鋁

 

 

質(zhì)量

3.9

千克

±5 %

工作溫度范圍

10 到 50

°C

 

技術(shù)參數(shù)為 20±3 °C下的數(shù)值。

詢(xún)問(wèn)定制設(shè)計(jì)!

* 單個(gè)坐標(biāo)(X、Y、Z、θX、θY和θZ)的行程相互依賴(lài)。本表中各軸對(duì)應(yīng)的數(shù)值為其大行程,此時(shí)其他軸和樞軸點(diǎn)位于參考位置。

 

訂購(gòu)信息

N-865.160

SpaceFAB,NEXACT®壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器,X和Y向上的行程為±6.5毫米,Z向上的行程為±5毫米 ,θx和θy向上的旋轉(zhuǎn)范圍為±7度,θz,θz向上的旋轉(zhuǎn)范圍為±8度,Z向上的負(fù)載能力為15牛


*N-865 PI微型定位六足位移臺(tái)
聯(lián)系方式
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