A-110 帶空氣軸承的PIglideLC線性平臺。

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掃描應(yīng)用的完美選擇或精密定位

運動平臺的尺寸160毫米×200 毫米

負載容量達100 牛

無塵室兼容

行程達400 毫米

PIglide參考級線性平臺

PIglide定位系統(tǒng)具有一個磁性線性電機、磁性預(yù)載空氣軸承和一個光學(xué)線性編碼器：非接觸式無摩擦運動實現(xiàn)最佳精度和可靠性

附件和可選配件

編碼器

PIglide過濾器和空氣預(yù)處理器

單軸和多軸運動控制器

XY裝置和個性化配置

花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應(yīng)用，諸如計量、光子學(xué)和精密掃描以及半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的應(yīng)用。

由于運動無摩擦，不會形成顆粒，PIglide平臺非常適用于無塵室應(yīng)用。

訂購信息

A-110.050A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，50毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.050B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，50毫米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.100A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，100毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.100B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，100毫米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.200A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，200毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.200B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，200毫米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.300A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，300毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.300B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，300毫米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.400A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，400毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏

A-110.400B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，400毫米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏