Q-Motion?轉(zhuǎn)臺(tái),通過壓電電機(jī)實(shí)現(xiàn)其緊湊外形：轉(zhuǎn)臺(tái)直徑為30毫米

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Q-632 Q-Motion®轉(zhuǎn)臺(tái)

§ 寬僅32毫米、高僅8毫米

§ 采用增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測(cè)量，編 碼器分辨率為0.75微弧度（可選）

§ 最小位移高達(dá)3微弧度

§ 旋轉(zhuǎn)范圍>360度

§ 速度為45度/秒

§ 適用于高達(dá)10- 6百帕的真空環(huán)境，還可提供用于真空 達(dá)10-9百帕的版本

壓電慣性驅(qū)動(dòng)器

壓電陶瓷慣性驅(qū)動(dòng)器為空間節(jié)約型且價(jià)格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)器，其保持力相對(duì)較大，行程幾乎是無限的。慣 性驅(qū)動(dòng)原理是基于由特殊驅(qū)動(dòng)器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個(gè)壓電促動(dòng)器。促動(dòng)器緩慢膨脹，移動(dòng)轉(zhuǎn)子。由 于其慣性，轉(zhuǎn)子無法跟上促動(dòng)器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時(shí)，驅(qū)動(dòng)直接作用在轉(zhuǎn)子 上，實(shí)現(xiàn)最大為45度/秒的速度

應(yīng)用領(lǐng)域

微裝配、光子學(xué)、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、顯微鏡、高能束線設(shè)備、半導(dǎo)體技術(shù)、測(cè)試應(yīng)用

訂購信息

Q-632.930

Q-Motion®

轉(zhuǎn)臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)范圍>360度，增量編碼器，分辨率為0.75微弧度，力矩為6毫牛米，直徑為30毫米，真空 兼容至10-6 百帕

Q-632.900

Q-Motion®

轉(zhuǎn)臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)范圍>360度，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，力矩為6毫牛米，直徑為30毫米，真空兼 容至10-6 百帕

Q-632.90U

Q-Motion®

轉(zhuǎn)臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)范圍>360度，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，力矩為6毫牛米，直徑為30毫米，真空兼 容至10-9 百帕