產(chǎn)品介紹
P-616NanoCube®納米定位器
緊湊的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)壓電系統(tǒng),用于納米定位和光纖對準(zhǔn)
應(yīng)用領(lǐng)域:
光纖定位和對準(zhǔn)
掃描顯微鏡
2-光子聚合
納米技術(shù)與納米制造
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操作
樣品定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性,長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動(dòng)配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合,并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。
適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運(yùn)行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的脫氣率。
PICMA®壓電執(zhí)行器,使用壽命長
專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護(hù),無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力,并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
通過并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)多軸運(yùn)行
在并聯(lián)運(yùn)動(dòng)多軸系統(tǒng)中,所有執(zhí)行器都作用在一個(gè)公共平臺(tái)上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計(jì)允許快速,動(dòng)態(tài)且仍然精確的運(yùn)動(dòng)。
P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀
用于掃描探針顯微鏡的動(dòng)態(tài)納米定位儀
應(yīng)用領(lǐng)域:
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描和篩選
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護(hù),無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力,并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測量,在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個(gè)固定參考為基準(zhǔn)進(jìn)行測量。軸之間不需要的串?dāng)_可以實(shí)時(shí)(根據(jù)帶寬)得到主動(dòng)補(bǔ)償(主動(dòng)引導(dǎo))。即使在動(dòng)態(tài)操作中,也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性,長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動(dòng)配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合,并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。
PI精密XY位移平臺(tái) L-738
技術(shù)規(guī)格
行程為102毫米×102毫米(4")
大孔徑,150毫米×150毫米
單向重復(fù)精度達(dá)0.05微米
速度達(dá)90毫米/秒
兩相步進(jìn)電機(jī),直流-電機(jī)
增量線性編碼器分辨率為1納米
增量編碼器用于高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺(tái)上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對測量造成影響。
光學(xué)參考點(diǎn)和限位開關(guān)。
再循環(huán)滾珠軸承
再循環(huán)滾珠軸承經(jīng)過認(rèn)真組裝后,具有高負(fù)載能力、長使用壽命、使用免保養(yǎng)和高導(dǎo)向精度等多種特點(diǎn)。平臺(tái)的移動(dòng)
部件由在兩個(gè)導(dǎo)軌上移動(dòng)的四個(gè)預(yù)加載線性球形軸承支持。每個(gè)軸承單元由兩個(gè)獨(dú)立的循環(huán)滾珠軸承組成。
驅(qū)動(dòng)器類型
兩相步進(jìn)電機(jī)可實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)矩(即使低速時(shí))和高分辨率
直流電機(jī)可實(shí)現(xiàn)高速度穩(wěn)定性、低振動(dòng)和高速
應(yīng)用領(lǐng)域
醫(yī)藥行業(yè), 激光切割, 生物技術(shù), 計(jì)量, 顯微鏡
常用型號
Physik Instrumente S-331.5SH
Physik Instrumente S-330.4SH
Physik Instrumente S-330.2SH
Physik Instrumente H-824.D2V
Physik Instrumente H-824.G2
Physik Instrumente H-820.D2
Physik Instrumente H-811.I2
Physik Instrumente E-500.00
Physik Instrumente E-505.00S
Physik Instrumente E-509.S3
Physik Instrumente E-727.3SDA
Physik Instrumente E-727.3SD
Physik Instrumente E-709.CRG
Physik Instrumente E-727.3SDA
Physik Instrumente E-664.S3
Physik Instrumente E-852.10
Physik Instrumente E-873.1AT
Physik Instrumente E-712.1AM
Physik Instrumente D-891.01E
Physik Instrumente D-510.051
Physik Instrumente U-521.24
Physik Instrumente L-741.133111
Physik Instrumente L-402.10SD
Physik Instrumente L-738.053111
Physik Instrumente L-741.131112
Physik Instrumente N-216.2A1 N
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